氦泄漏测试的方法
(1) 喷雾法
将被检体内部抽空后,用喷枪喷射氦气,检测进入到被检体内部的氦气。
适用于寻找较小的泄漏点,适用于寻找较小的泄漏点。如果需要量化测试对象的总泄漏量,罩法更合适。
(2) 真空罩法
在抽空被测物内部、罩住被测物外部并在罩内填充氦气后,检测进入被测物的氦气。
可以量化可疏散的测试对象的总泄漏量,但无法找到泄漏点。如果需要寻找泄漏点,则喷雾法是合适的。
(3) 嗅探法
对被检体加压后,用连接在LD上的吸枪探查从泄漏点流出的氦气。
在以下情况下寻找泄漏点的有效方法。
在比大气压高的压力下进行测试的情况。
由于测试对象的复杂形状无法遮盖的情况。
通过压力累积法检测到大泄漏后发现泄漏点的情况。
(4) 蓄压法
用氦气对被测物加压并用罩盖住被测物后,用连接到LD的嗅探探头嗅探,捕捉和检测从泄漏点流出的氦。
由于泄漏的氦气积累了一定时间,增加了氦浓度,比嗅探法更容易检测到小泄漏。此外,还适用于比大气压更高的压力下的高精度泄漏测试。
(5) 吸盘法
部分疏散测试对象。
适用于大型真空容器或其他因制造工艺或产品条件等原因无法进行全身抽真空或加压的压力容器。
应用示例
检查大型真空容器的制造过程。
查找区域泄漏。
(6) 钟罩法
用氦气对被检体内部加压(大气压以上),将被检体放入试验室并抽空后进行泄漏检测。
检测灵敏度与真空法一样高,适用于与吸枪法或蓄压法(压力法)相比,需要更高的检测灵敏度的场合。但不可能找到泄漏点,需要另一种方法找到泄漏点。
(7) 轰炸方法
将试验对象放入爆炸罐中,用氦气加压并保持一定时间后,将其捡起,放入试验室并撤离。用氦气加压时,如果测试对象有泄漏,一些氦气会进入测试对象,它们会进入室内。来检测它。
用于判断内部为真空或充满空气或某种气体的密闭容器(封装IC、石英振荡器等)的密封性或气密性的方法。
(8) 任意压力法
ULVAC针对低压电阻产品开发的应用,已在各个领域得到验证。可以进行高精度和高速测试。
由一个泵送系统组成,类似于在吸枪法中使用的带有辅助泵的泵送系统。可以在比 LD 连接压力更高的压力下进行测试。试验压力任意可调。
封闭物件申请:药品包装、医用包装等。
散开法应用:低压电阻容器等。
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